IEST-RP-CC006.3：潔凈室的測試

測試潔凈室和清潔區(qū)域的首要目的是確定它們的操作性能。現(xiàn)有的“IEST RP-CC006.3：潔凈室的測試”，提供了一套經(jīng)過檢驗而且是標(biāo)準(zhǔn)化的測試程序，它可以確定潔凈室和清潔區(qū)域的性能。測試程序共分為兩類：初步測試和中級測試。初步測試與潔凈室空氣傳播微粒的清潔度分類或者驗證有著密切的關(guān)系，測試內(nèi)容包含下列部分：氣流量、速度和均勻度測試；HEPA和ULPA過濾器安裝測試；空氣傳播微粒計算測試；室內(nèi)加壓測試。中級測試包括與潔凈室或者潔凈區(qū)域有關(guān)的其他特性，指定的驗收范圍由以下內(nèi)容組成：可視化氣流特征測試；光照度和光照均勻度測試；噪聲級測試；溫度和濕度的均勻的測試；振動測試。我們可能需要在一個或者多個操作狀態(tài)下，即空態(tài)，靜態(tài)或者操作狀態(tài)。
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進(jìn)行性能測試。在這個文獻(xiàn)中并沒有對測試的順序做出明確的規(guī)定，然而，在通常情況下，最好是以首選的順序來執(zhí)行某些測試。例如，對于單向性潔凈室而言，建議采用以下順序：氣流量或者氣流速度測試（6.1部分）；可視化氣流特征測試（6.5部分）；室內(nèi)加壓測試（6.4部分）?

推薦做法（RP）有望幫助規(guī)劃人員、設(shè)計人員、制造商和用戶，預(yù)備測試的詳盡的技術(shù)規(guī)范，保證潔凈室運(yùn)行符合要求。根據(jù)協(xié)議規(guī)定，用戶將針對自己的潔凈室選擇適當(dāng)?shù)臏y試，并制定使用潔凈室所必需的驗收范圍。推薦做法還可能用來為專用潔凈室編寫內(nèi)部測試程序。?

推薦做法還針對各種測試方法推薦了相應(yīng)的測試設(shè)備。如果潔凈室的類型（即單向性潔凈室或非單向潔凈室）影響了測試的方法，那么，這時就可以采用替代的測試程序。對于一些測試程序來說，可以有兩種以上的測試方法或者測試設(shè)備，因此，它們能夠滿足最終用戶所關(guān)注的問題的要求。在使用替代的方法時，最終用戶應(yīng)該知道，通過不同的方法所得出的結(jié)果可能并不一致。?

在通常情況下，推薦做法沒有提供相關(guān)的驗收范圍，而只是提供了用來確定適當(dāng)界限的標(biāo)準(zhǔn)術(shù)語。此外，推薦做法沒有完全包括所有可以用來描述潔凈室操作參數(shù)特性的測試，例如，粒子沉淀速度，空氣分子污染物，微生物，靜電放電（ESD），復(fù)原測試和污染泄漏測試，以及其他未提及的測試。?

基本測試?
氣流量、速度和均勻度測試。這些測試決定了單向性潔凈室和潔凈區(qū)域的氣流速度和均勻度，以及潔凈室的送風(fēng)量的流動速度和送風(fēng)量的均勻度。測試通常要么對氣流速度有要求，要么對氣流量有要求，并且可以從平均速度、平均流量或者總流量中得出結(jié)論。根據(jù)總流量，可以確定空氣的換氣次數(shù)。?

HEPA的ULPA過濾器的安裝泄漏測試。這些測試可以用來確定HEPA或者ULPA過濾器系統(tǒng)的完整性。這個測試通過在HEPA或者ULPA過濾器的上游引入測試用氣溶膠，同時，在過濾器的下游，包括從過濾器到邊框密封，執(zhí)行完整性掃描測試來實現(xiàn)。這個推薦做法參考了“IEST-RP-CC034：HEPA和ULPA過濾器泄漏測試”，它詳細(xì)地描述了這部分的測試。?

懸浮微粒計算測試。這個測試能夠確定處于完全的空態(tài)、靜態(tài)或者操作狀態(tài)下的潔凈室是否符合“ISO 14644-1:1999”對特定空氣清潔度的細(xì)致分類。在通常情況下，它指的是在ISO標(biāo)準(zhǔn)中所記載的測試方法。?

室內(nèi)加壓測試。這個測試用來驗證潔凈室與周圍環(huán)境之間能否保持指定的靜壓差的能力，包括上方和下方與潔凈室相鄰的空間。一般說來，潔凈室會有一個正壓，然而，對于某些需要防止泄漏的應(yīng)用而言，包含毒性、生物或者放射性材料的應(yīng)用，必須規(guī)定具有負(fù)壓。?

中級測試?
可視化氣流特征測試。這個測試的目的在于可視化地描述整個工作區(qū)域內(nèi)多個位置和相鄰的地方主要的氣流方向（流動矢量）。這個試驗證潔凈室控制氣流的傳播能力，以此確定空氣污染的來源。這里共提供了兩種測試方法：流線測試和氣溶膠散布測試。?

光照度和光照均勻度測試。這個測試的目的在于驗證在潔凈室里的光照度和光照均勻度是否符合指定的要求。?
噪聲級測試。這個測試的目的在于測量由潔凈室的機(jī)械系統(tǒng)和電子系統(tǒng)以及由鄰近的外部區(qū)域所產(chǎn)生的聲壓級，驗證他們是否符合最終用戶的要求。?

溫度和濕度的均勻度測試。這些測試的目的是用來確定空氣調(diào)節(jié)器能否使溫度和濕度（表現(xiàn)為相對濕度或者露點(diǎn)）在最終用戶指定的時間段內(nèi)保持在規(guī)定的范圍內(nèi)。這些測試方法分為兩個級別，即常規(guī)測試和全面測試。全面測試需要對潔凈室進(jìn)行剖析，確定均勻度，而常規(guī)測試只需要在每個溫度控制區(qū)域內(nèi)設(shè)置一個測試位置即可。?
振動測試。這個測試的目的在于確定潔凈室結(jié)構(gòu)的振動級別以及它的構(gòu)成，以驗證潔凈室能否符合最終用戶的要求。這個推薦做法有一個常規(guī)的測試程序，而且參考了“IEST-RP-CC024：微電子工廠的振動測量與報告”，那里有更詳細(xì)的測試要求。?

當(dāng)前在文獻(xiàn)方面的工作?
006工作組對IEST-RP-CC006.3進(jìn)行評估，以確定這個文獻(xiàn)在哪些地方需要進(jìn)行修訂。結(jié)果是，該工作組目前正在討論以下議題：復(fù)原速度測試；氣流的可視化；表面的傳導(dǎo)性測試；以及在進(jìn)行氣流量、速度和均勻度測試和室內(nèi)加壓測試時，測試儀器的精確度與測試項目的關(guān)系。?

結(jié)束語?
“ISO 14644 潔凈室與相關(guān)控制環(huán)境（第三部分）：測試方法”作為現(xiàn)行的國際標(biāo)準(zhǔn)草案（FDIS），涵蓋了目前IEST-RP-CC006.3里論述的大量的測試方法。這個國際標(biāo)準(zhǔn)草案還引用了源自IEST-RP-CC006.3和IEST-RP-CC034.2文獻(xiàn)里的許多附加材料。ISO 14644-3有望于2005年底之前成為正式的標(biāo)準(zhǔn)。?

作者簡介?
Robert L. Mielke是Abbott實驗室的首席測試工程師，該實驗室總部設(shè)于美國伊利諾斯州北芝加哥——他是環(huán)境科學(xué)與技術(shù)協(xié)會（IEST）的委員。Mielke擔(dān)任IEST標(biāo)準(zhǔn)與實務(wù)主席這個職務(wù)已有八年了，并且，分別在1995年至1997年和1999年至2001年兩次被任命為“污染控制”的技術(shù)副主席。他在保證IEST和美國的ISO/TC 209秘書處的正常運(yùn)作方面起到非常關(guān)鍵的作用，并且，將繼續(xù)擔(dān)任該機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人。Mielke目前是IEST 006工作組的主席。?

潔凈室測試標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)展?

自上世紀(jì)六十年代起，潔凈室測試學(xué)科已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)和推薦做法的成果的焦點(diǎn)。論述潔凈室測試的最早的標(biāo)準(zhǔn)之一，是出版于1963年的美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209 （FED-STD-209），它有一個非強(qiáng)制性的補(bǔ)充指導(dǎo)附錄部分，專門針對潔凈室的測試。這個標(biāo)準(zhǔn)的修訂版A和修訂版B在附錄中也包含了潔凈室的測試。對于如何進(jìn)行潔凈室的測試，還有許多私營企業(yè)或者公司的特定的程序。第一個在美國出現(xiàn)的涵蓋了潔凈室測試的推薦做法，是美國污染控制協(xié)會（A2C2）命名為“清潔室”的CS-6文獻(xiàn)，它出版于1970年。隨著美國污染控制協(xié)會合并到隨后成立的環(huán)境科學(xué)協(xié)會（IES）中，這些文獻(xiàn)也就成為IES的組成部分。?
環(huán)境科學(xué)與技術(shù)協(xié)會（IEST）的污染控制部門，就是該協(xié)會早在1982年最先為編寫推薦做法而成立的工作組（WG）。其中，最早成立的工作組之一是WG-CC006——潔凈室測試。自該工作組創(chuàng)建至今，共刊印了三個文獻(xiàn)，即1984年出版的IES-RP-CC-006-84T，1997年出版的IEST-RP-CC006.2和2004年出版的IEST RP-CC006.3。?
ISO技術(shù)協(xié)會209 （ISO/TC 209）自1992年成立之日起，就已決定要逐漸形成一個包含潔凈室測試的文獻(xiàn)。結(jié)果是，1993年在ISO/TC 209內(nèi)成立了工作組3，因此也就有了ISO 14644-3。